中国粉体网讯  9月28日，互创芯微静电卡盘总部项目签约落户无锡高新区。

无锡互创芯微半导体科技有限公司（以下简称“互创芯微”）成立于2016年，于2024年6月落户无锡高新区，长期深耕半导体设备核心零部件的维修、仿制与自主研发。其产品线覆盖ESC静电卡盘、加热器、匀气盘（涂层）、SiC及陶瓷部件、真空系统等，是国内少数具备7nm及以上先进制程节点零部件供应能力的企业。公司核心团队来自SK海力士、三星电子、三菱化学等国际半导体头部企业，在零部件工艺开发和设备匹配方面经验丰富。目前，其产品已通过国内主流晶圆厂与设备商的验证，并进入规模化采购阶段。

互创芯微静电卡盘总部项目计划总投资5亿元，建设陶瓷烧结车间、精密加工车间、千级洁净间及研发实验室，形成“研发+生产+销售”一体化总部基地。项目达产后，预计年产2500颗12英寸静电卡盘、5000颗8英寸静电卡盘。

据无锡高新区在线消息，互创芯微攻克国内技术等级最高的先进制程静电吸盘维修难题，成为国内头部客户（14-7纳米制程）的国内供应商，并获得头部企业的深度维修测试订单。该公司于2025年入选国家高新技术企业、江苏省民营科技企业。无锡高新区正聚力打造世界级集成电路产业。

ESC静电卡盘是刻蚀、薄膜沉积、离子注入等关键工序中不可或缺的核心零部件，直接影响晶圆加工的良率与稳定性。然而，该领域的高端设计和制造能力长期被少数海外企业垄断，叠加出口管制与技术封锁，国内供应链在产能和精密制备工艺上存在明显短板，是典型的“卡脖子”环节。

互创芯微的独特价值在于，它从零部件维修服务起步，逐步逆向剖析工艺、积累数据，进而实现仿制与正向设计。正因此，也颇受资本关注。

今年6月，宁波工投集团顺利完成对互创芯微的战略投资。据悉，此次投资将重点支持互创芯微在宁波落地12英寸ESC基座、12英寸特种匀气盘等产线，旨在提升国产替代能力，缓解下游客户对海外供应的依赖。

7月，由电控产投主导的北电智造基金正式完成对互创芯微的战略投资。本轮战略投资将为互创芯微在半导体设备关键零部件领域的技术研发与产业化应用提供坚实资本支撑，有力推动半导体行业国产化进程。

来源：高新区在线、宁波工投集团、北京基金协会

（中国粉体网编辑整理/空青）

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