流态床CVD法制氮化硅超微粉过程分析及实验验证
4465
2007-02-12
编号：CPJS00422
篇名： 流态床CVD法制氮化硅超微粉过程分析及实验验证
作者： 王勇; 周俊; 汪新颜; 姚奎鸿;
关键词：流态床; CVD; 氮化硅; 硅烷; 热力学;
机构：浙江理工大学材料工程中心; 浙江理工大学图书馆;
摘要： 分析了硅烷氨解法制备氮化硅超微粉的化学气相沉积(CVD)过程,讨论了制备氮化硅超微粉体的3个关键工艺要素,并采用立式双温区流态床实验装置实现氮化硅超微粉体的制备,获得粉体合成过程的一些关键控制参数。
