4N级碳化硅用硅微粉制备技术
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2025-06-27
编号:FTJS107317
篇名: 4N级碳化硅用硅微粉制备技术
作者: 贺湘强;侯清麟;赵维奕;谭中柱
关键词: 硅微粉; 气液包裹体; 酸浸; 提纯;
机构:湖南工业大学包装与材料工程学院
摘要: 对硅微粉制备技术现状进行简要介绍,分析现有制备方法在碳化硅用硅微粉制备领域存在的问题,并提出一种回收筛余石英粉料并将其制备成高品质碳化硅用硅微粉的制备方法。首先采用ICP-OES、 XRD、扫描电镜等测试方法对石英进行矿物学分析,将石英粉于1 100℃条件下煅烧2 h后迅速水淬,水淬后研磨筛分得到500~1 500目硅微粉。将硅微粉在温度为600℃下处理2 h,最后使用4 mol/L盐酸、 4 mol/L硫酸、 3 mol/L硝酸铵体积比1∶1∶1混合的混酸对在液固比5∶1,酸浸温度90℃,酸浸时间4 h,搅拌速度15.7 rad/s条件下进行酸浸提纯。纯化处理后硅微粉金属杂质总量<50 mg/kg,气液包裹体去除率为73.4%。