编号：NMJS08071
篇名： 溶胶-凝胶法制备氮化硅陶瓷微球
作者： 聂磊 宋晶 马景陶 赵兴宇 郝少昌 李建军 邓长生 刘兵
关键词： 氮化硅微球 溶胶-凝胶法 氮化反应 氮化机理
机构：清华大学新型陶瓷与精细工艺国家重点实验室
摘要： 氮化硅陶瓷是一种性能优良的高温结构陶瓷,其陶瓷微球有广泛的工业应用前景,本研究以锆溶胶为凝胶剂,纳米硅粉为硅源,利用内凝胶法制备了氮化硅陶瓷微球。在制备氮化硅凝胶球过程中,锆溶胶充当凝胶剂。在烧结过程中,氧化锆能够促进氮化硅陶瓷微球致密化。探究了胶液配方中ZrO2+和HNO3浓度对胶液稳定性的影响;洗涤工艺对氮化反应的影响;烧结温度对凝胶球氮化率的影响。在氮化温度为1450℃、氮化时间为4 h的烧结工艺下制备得到了氮化率达80%的氮化硅陶瓷微球。